에스엔유, 삼성전자, 서울대학교, 서울테크노파크가 컨소시엄을 구성해 연간 8억2500만원의 정부지원금을 받게 된다.
반도체 집적도와 생산 수율에 직접적 영향을 미치는 공정작업 후 CD 측정을 위한 장비 개발 사업으로 반도체 핵심기술의 국산화 및 수입 대체효과가 기대된다고 회사 측은 밝혔다.
이솔 기자 pinetree19@asiae.co.kr
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에스엔유, 삼성전자, 서울대학교, 서울테크노파크가 컨소시엄을 구성해 연간 8억2500만원의 정부지원금을 받게 된다.
반도체 집적도와 생산 수율에 직접적 영향을 미치는 공정작업 후 CD 측정을 위한 장비 개발 사업으로 반도체 핵심기술의 국산화 및 수입 대체효과가 기대된다고 회사 측은 밝혔다.
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