이번 사업은 3년에 걸쳐 정부로부터 지원 받아 반도체의 집적도와 반도체 생산의 수율에 직접적인 영향을 미치는 CD(Critical Dimension, 임계치수)값을 인라인 공정중에서 측정하는 전자현미경 장비를 개발하는 것이다. 외국기업이 100%의 시장점유율을 가진 반도체측정장비의 국산화 사업이다.
에스엔유, 삼성전자, 서울대학교, 서울테크노파크가 컨소시엄을 구성해 연간 8억2500만원의 정부지원금을 받게 된다. 회사측은 "에스엔유가 주관해 CD SEM 장비를 개발하고 삼성전자는 인라인 테스트 및 장비의 성능평가를 담당할 것으로 예상된다"며 "관련 핵심기술과 부품에 대한 국산화가 이미 상당히 준비가 된 상태로 이번 상용화 사업이 성공적으로 이뤄질 경우 반도체 주요 고객인 삼성전자등에 공급이 가능할 것”이라고 밝혔다. 또 "LCD, OLED, 태양광 장비사업과 더불어 반도체사업이 당사의 차세대 성장동력이 될 것으로 기대한다”고 덧붙였다.
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박선미 기자 psm82@asiae.co.kr
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